1 漏氣及其產生原因 

在真空技術和設備的應用中，真空系統(tǒng)的漏氣是不可避免的，真空檢漏的目的是使系統(tǒng)中的漏氣量小到工藝要求所允許的程度。

造成真空系統(tǒng)漏氣的原因很多，大致有下面幾種情況。

（1）器壁材料有氣孔、夾渣、裂紋。軋制材料出現(xiàn)這種缺陷的可能性較?。欢T件容易引起這種缺陷。

（2）焊接、封接時有缺陷。原因是焊接時操作不慎，焊接工藝選擇不當，焊縫設計不合理，焊接順序選擇不當，焊接操作不方便等因素，均會引起焊縫漏氣；

（3）零件在冷加工中出現(xiàn)裂紋。如彎管時不小心會產生裂紋；焊后加工的法蘭容易引起法蘭與管道間焊縫產生裂紋；

（4）零件受冷、熱沖擊或機械沖擊后，焊縫產生裂紋；

（5）在焊接應力作用下使焊縫產生裂紋；

（6）密封面加工粗糙、有劃痕、有油污、氧化皮等；密封圈有劃傷，壓縮量不夠。均會引起漏氣現(xiàn)象；

（7）法蘭變形或壓的不平，螺栓沒擰緊均能引起漏氣。

由于上述原因，金屬真空系統(tǒng)容易漏氣的部位有：

（1）焊縫的起焊及收焊部位，兩條焊縫的交叉點；波紋管的焊接部位，管接頭焊縫，受運動影響的釬焊焊縫；

（2）法蘭密封或動密封處。如果安裝前仔細清洗，裝配合理，這種部位不易漏氣；

（3）金屬一陶瓷、金屬一玻璃封接處，如引出電極、規(guī)管的高壓引線，管腳，管帽等處；

（4）受冷、熱沖擊影響的焊縫。